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晶體硅太陽(yáng)能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解

2010-06-12 08:53 來(lái)源:應(yīng)用材料公司 責(zé)編:Victoria

摘要:
。這一技術(shù)采用了新型的高分辨率照相機(jī)和新的軟件算法,具有自動(dòng)調(diào)整程序,并可以在印刷初始階段進(jìn)行額外控制。此外,漿料配方和絲網(wǎng)設(shè)計(jì)必須經(jīng)過(guò)仔細(xì)的共同優(yōu)化,從而最大限度地實(shí)現(xiàn)絲網(wǎng)印刷的硬件和工藝效能。
  【CPP114】訊:生產(chǎn)晶體硅太陽(yáng)能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路,將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來(lái)完成——將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過(guò)絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太陽(yáng)能電池從頭到尾整個(gè)生產(chǎn)工藝流程中需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。通常,有兩種不同的工藝分別用于電池正面(接觸線和母線)和背面(電極/鈍化和母線)的絲網(wǎng)印刷。【表1】

表1:晶體硅太陽(yáng)能電池的制造需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。應(yīng)用材料公司Baccini產(chǎn)品可以幫助實(shí)現(xiàn)綠色框中的步驟。

  多年來(lái),太陽(yáng)能絲網(wǎng)印刷設(shè)備在精度和自動(dòng)化方面有了很大進(jìn)步,具備了在微米級(jí)尺寸上重復(fù)進(jìn)行多次印刷的能力。這一發(fā)展開創(chuàng)了全新的先進(jìn)應(yīng)用,如雙重印刷和選擇性發(fā)射極金屬鍍膜。Baccini公司在20世紀(jì)70年代在微電子領(lǐng)域開發(fā)了絲網(wǎng)印刷技術(shù),并在20世紀(jì)80年代將這一技術(shù)擴(kuò)展到太陽(yáng)能金屬鍍膜領(lǐng)域。今天,Baccini公司已成為應(yīng)用材料公司Baccini集團(tuán),以多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)引領(lǐng)業(yè)界的發(fā)展。

  基本的太陽(yáng)能絲網(wǎng)印刷

  印刷過(guò)程從硅片放置到印刷臺(tái)上開始。非常精細(xì)的印刷絲網(wǎng)固定在網(wǎng)框上,放置在硅片上方;絲網(wǎng)封閉了某些區(qū)域而其它區(qū)域保持開放,以便導(dǎo)電漿料能夠通過(guò)【圖2】。硅片和絲網(wǎng)的距離要嚴(yán)格地控制(稱為印刷間隙)。由于正面需要更加纖細(xì)的金屬線,因此用于正面印刷的絲網(wǎng)其網(wǎng)格通常比用于背面印刷的要細(xì)小得多。

表2:印刷絲網(wǎng)上包含打開和閉合的區(qū)域,通過(guò)打開的區(qū)域,導(dǎo)電漿料可以被印刷到硅片上。

  把適量的漿料放置于絲網(wǎng)之上,用刮刀涂抹漿料,使其均勻填充于網(wǎng)孔之中。刮刀在移動(dòng)的過(guò)程中把漿料通過(guò)絲網(wǎng)網(wǎng)孔擠壓到硅片上【圖3】。這一過(guò)程的溫度,壓力,速度和其他變量都必須嚴(yán)格控制。

表3:在絲網(wǎng)一端放置導(dǎo)電漿料,用刮刀在將漿料涂抹于絲網(wǎng),并從網(wǎng)孔中擠壓到硅片上。

  每次印刷步驟后,硅片被放入烘干爐,使導(dǎo)電漿料凝固。接著,硅片被送入另一個(gè)不同的印刷機(jī),在其正面或背面印制更多的線路。所有印刷步驟完成后,將硅片放入高溫爐里燒結(jié)。

  硅片正面和背面的印刷

  每塊太陽(yáng)能電池的正面和背面都有通過(guò)絲網(wǎng)印刷淀積的導(dǎo)線【圖4】,它們的功能是不同的。正面的線路比背面的更細(xì);有些制造商會(huì)先印刷背面的導(dǎo)電線,然后將硅片翻過(guò)來(lái)再印刷正面的線路,從而最大程度地降低在加工過(guò)程中可能產(chǎn)生的損壞。在正面(面向太陽(yáng)的一面),大多數(shù)晶體硅太陽(yáng)能電池的設(shè)計(jì)都采用非常精細(xì)的電路(“手指線”)把有效區(qū)域采集到的光生電子傳遞到更大的采集導(dǎo)線——“母線”上,接著再傳遞到組件的電路系統(tǒng)中。正面的手指線要比背面的線路細(xì)得多(窄到80μm)。正因?yàn)槿绱耍娴挠∷⒉襟E需要更高的精度和準(zhǔn)確性。

圖4:印刷后硅片正面會(huì)有大小不同的導(dǎo)線,用來(lái)從有效區(qū)域采集電能。.
 
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